Cible de trioxyde de tungstène
La cible de trioxyde de tungstène est souvent utilisée comme matériau d'évaporation du film mince WO3. Le processus de production de la cible de trioxyde de tungstène adoptant la céramique électrique, le processus est le fraisage de boule, le moulage par compression et la calcination.
Au cours du processus de production, la qualité de la matière première a déterminé l'effet sur la propriété de la céramique. Les différences entre la céramique fonctionnelle et la céramique traditionnelle sont incarnées dans le contrôle de la matière première, de la taille et de la distribution des grains, de l'activité réactive, du cristallin et du coût. Les procédés de production de cible de trioxyde de tungstène commun sont le procédé en phase solide, le procédé en phase vapeur et le procédé en phase liquide.
1. Méthode de phase solide Préparation de la cible de trioxyde de tungstène: Calcination de l'APT avec réduction de l'oxydation plusieurs fois. La taille du grain diminue après chaque étape d'oxydation ou de réduction.
2. La méthode de la phase vapeur utilise habituellement des composés volatils comme matière première.
3. La méthode de la phase liquide produisant la cible de trioxyde de tungstène peut ajouter de l'acide chlorhydrique concentré élevé dans une solution de tungstate de sodium, la précipitation d'acide tungstique est obtenue, après séchage et calcination, puis se forme en matériau cible de trioxyde de tungstène.
Pour préparer une cible de trioxyde de tungstène de haute pureté et densité, les processus suivants peuvent être optimisés:
1.Préparateur de trioxyde de tungstène avec une pureté élevée, une activité de frittage élevée et une propriété de pressage fin.
2.Procédé de moulage par compression.
3. Processus de calcination.
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