Modification de surface d'oxyde de tungstène

La modification de surface d'oxyde de tungstène se réfère à donner de nouvelles propriétés à la surface sous le principe de maintenir la performance originale de l'oxyde de tungstène ou de ses produits, comme les propriétés hydrophiles, biocompatibles, antistatiques et de teinture et autres. Il existe de nombreux rapports sur les méthodes de modification de surface, qui peuvent être résumées approximativement comme réaction chimique de surface, greffage de surface et méthode composite de surface et ainsi de suite.

Film d'oxyde de tungstène SEM photo

Modification de surface du capteur de gaz de trioxyde de tungstène

Le capteur de gaz de trioxyde de tungstène selon l'épaisseur différente de film a communément deux formes de film mince et épais, et leurs méthodes de modification de surface sont également différentes.

Modification de la surface du film mince de trioxyde de tungstène: Tout d'abord propre Al2O3Substrat; Sous atmosphère d'argon, prenant respectivement du platine, du tungstène comme cible (pulvérisation de tungstène devant ajouter de l'oxygène) pour pulvériser du film de trioxyde de tungstène sur le substrat d'électrode interdigitale; Puis prendre la cible de titane, de nickel, de molybdène, de vanadium, de platine, d'or ou de palladium pour pulvériser une couche de métal sous une atmosphère d'argon sur la couche préparée WO 3 Couche de film mince; Traitement thermique dans l'air pour obtenir un détecteur de gaz à film mince d'oxyde de tungstène avec modification de surface. Ce film de trioxyde de tungstène modifié en surface présente des avantages de température de travail faible, une excellente sélectivité, un temps de réponse et de récupération courts.

Modification de la surface du film épais de trioxyde de tungstène: Décomposition acide; Ajouter un liant pour obtenir une suspension de matériau sensible au trioxyde de tungstène; Une suspension d'impression sur l'électrode interdigitale et un substrat en alumine de fil d'argent d'électrode d'argent, un frittage de chaleur d'air; Une isolation thermique du capteur de gaz respectivement sous H2 Et l'atmosphère de l'air pour produire une surface modifiée WO 3 Capteurs de gaz à film épais. Ce type de capteur de gaz de trioxyde de tungstène après traitement de modification de surface a une détection de sensibilité élevée sur 1 ~ 200ppm de CO, avec un court temps de réponse et de récupération, d'avoir ainsi une valeur pratique importante.

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