Fluorure de tungstène
Le fluorure de tungstène est un composé inorganique du fluor et du tungstène avec deux formes courantes de fluorure de tungstène (IV) et de fluorure de tungstène (VI), et les formules sont respectivement WF4 and WF6, Leurs informations de base sont indiquées ci-dessous:
Tétrafluorure de tungstène est un composé inorganique de tungstène, susceptible d'hydrolyse et sensible à l'oxydation, et la disproportionation de celui-ci à 800 ℃ dans le vide va générer du pentafluorure de tungstène et de difluorure de tungstène.
-fluoride-molecular-structure.jpg "Structure moléculaire de fluorure de tungstène (IV)")
-fluoride-molecular-structure.jpg "Structure moléculaire de fluorure de tungstène (VI)")
Le fluorure de tungstène (VI), également connu sous le nom d'hexafluorure de tungstène, est le composé inorganique du tungstène et du fluor de formule WF6.Ce composé corrosif et incolore est un gaz dans des conditions normales, avec une densité d'environ 13 g / L (environ 11 fois plus lourd que l'air WF6 Est l'un des gaz les plus lourds connus dans des conditions standard. WF6 Le gaz est le plus couramment utilisé dans la production de circuits semi-conducteurs et de circuits imprimés par le biais du processus de dépôt chimique en phase vapeur - lors de la décomposition, des molécules de WF6 Laisser un résidu de tungstène métallique. Cette couche sert d'interconnexion métallique à faible résistivité.
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