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氧化钨的表面改性

氧化钨的表面改性是指在保持氧化钨或其制品原性能的前提下，赋予其表面新的性能，如亲水性、生物相容性、抗静电性能、染色性能等。表面改性的方法有很多报道，大体上可以归结为：表面化学反应法、表面接枝法、表面复合化法等。

三氧化钨气敏传感器根据其膜的厚度不同，常见的有薄膜和厚膜两种形式，而其表面改性的方法也大不相同。

三氧化钨薄膜表面改性：首先清洗Al₂O₃基片；在氩气氛围下分别以铂、钨为靶材（溅射钨需要加氧气）在叉指电极的基片上溅射三氧化钨薄膜；然后以钛、镍、钼、钒、铂、金或钯金属为靶材，氩气氛围下在制备好的WO₃薄膜层上溅射金属层；空气中热处理，得到表面改性的三氧化钨薄膜气敏传感器。这种表面改性后的三氧化钨薄膜具有工作温度低，选择性好，响应和恢复时间短的优势。

三氧化钨厚膜表面改性：钨酸分解；添加粘合剂，制得三氧化钨敏感材料浆料；将浆料印刷在被有叉指银电极和银电极引线的氧化铝基板上，在空气中保温烧结；将制得的WO₃厚膜气敏传感器分别在H₂和空气气氛中保温，制得表面改性的WO₃厚膜气敏传感器。该种表面改性后的三氧化钨气敏传感器可对待测环境中1～200ppm的CO实现高灵敏检测，且响应恢复时间短，具有重要的实际应用价值。

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