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氧化鎢的表面改性

氧化鎢的表面改性是指在保持氧化鎢或其製品原性能的前提下，賦予其表面新的性能，如親水性、生物相容性、抗靜電性能、染色性能等。表面改性的方法有很多報導，大體上可以歸結為：表面化學反應法、表面接枝法、表面複合化法等。

三氧化鎢氣敏感測器根據其膜的厚度不同，常見的有薄膜和厚膜兩種形式，而其表面改性的方法也大不相同。

三氧化鎢薄膜表面改性：首先清洗Al₂O₃基片；在氬氣氛圍下分別以鉑、鎢為靶材（濺射鎢需要加氧氣）在叉指電極的基片上濺射三氧化鎢薄膜；然後以鈦、鎳、鉬、釩、鉑、金或鈀金屬為靶材，氬氣氛圍下在製備好的WO₃薄膜層上濺射金屬層；空氣中熱處理，得到表面改性的三氧化鎢薄膜氣敏感測器。這種表面改性後的三氧化鎢薄膜具有工作溫度低，選擇性好，回應和恢復時間短的優勢。

三氧化鎢厚膜表面改性：鎢酸分解；添加粘合劑，制得三氧化鎢敏感材料漿料；將漿料印刷在被有叉指銀電極和銀電極引線的氧化鋁基板上，在空氣中保溫燒結；將制得的WO₃厚膜氣敏感測器分別在H₂和空氣氣氛中保溫，制得表面改性的WO₃厚膜氣敏感測器。該種表面改性後的三氧化鎢氣敏感測器可對待測環境中1～200ppm的CO實現高靈敏檢測，且回應恢復時間短，具有重要的實際應用價值。

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