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불화 텅스텐
텅스텐 불화물은 불소와 텅스텐의 무기 화합물로 텅스텐 (IV) 불화물과 텅스텐 (VI) 불화물의 두 가지 일반적인 형태로되어 있으며 각각의 식은 각각 WF4 과 WF6, 기본 정보는 다음과 같습니다.
테트라 플루오 라이드 텅스텐은 무기 텅스텐 화합물로서 가수 분해가 일어나고 산화되기 쉽고 800 ℃에서 진공 상태가 불균등 해지면 펜타 플루오 라이드 텅스텐과 텅스텐 디 플루오 라이드가 생성됩니다.
-fluoride-molecular-structure.jpg "T텅스텐 (IV) 불소 분자 구조")
-fluoride-molecular-structure.jpg "텅스텐 (VI) 불소 분자 구조")
텅스텐 (hexafluoride)이라고도 알려진 텅스텐 (VI) 불화물은 텅스텐과 불소의 무기 화합물로 식 WF6. 이 부식성 무색 화합물은 밀도가 약 13g / L (공기보다 약 11 배 가량) 인 표준 조건에서 기체입니다. WF6 표준 조건에서 가장 무거운 가스 중 하나입니다. WF6 가스는 화학 기상 증착 프로세스를 통해 반도체 회로 및 회로 기판의 생산에 가장 일반적으로 사용됩니다. 분해시 분자는 WF6 금속성 텅스텐 잔류 물을 남겨 둡니다. 이 층은 저 저항 금속 "상호 연결"역할을합니다.
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