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表面修飾酸化タングステン

酸化タングステンの表面改質は、例えば、親水性、生体適合性、帯電防止性、染色性などの新たな表面特性を、所定の酸化タングステンまたはその製品前提の元の特性を維持します。表面化学反応、表面グラフト、合成方法、表面：表面改質方法は、多くのレポート次のように大まかに要約することができるされています。

フィルムの厚さに応じて三酸化タングステンガスセンサーは、2つの形態で共通の膜および厚膜異なり、その表面改質方法も異なります。

三酸化タングステン膜の表面改質は、第一の洗浄しますAl₂O₃基板と、アルゴン雰囲気下で三すだれ状に基板電極上に酸化タングステン膜をスパッタターゲット（タングステンをスパッタで酸素添加を必要とする）タングステン、白金であった;その後、チタン、ニッケル、モリブデン、バナジウム、白金、調製アルゴン雰囲気下における標的としての金またはパラジウム金属WO₃薄膜層は、金属層をスパッタリングし、空気中での熱処理、表面修飾酸化タングステン薄膜ガスセンサーを得ました。三酸化タングステン薄膜の低温、選択性、反応表面修飾、および回復時間が短いという利点です。

三酸化タングステン厚い表面改質：酸分解、三酸化タングステン感光材料のスラリーを得るために結合剤を添加する工程と、スラリーを櫛形電極および銀電極銀線アルミナ基板上に印刷されました、空気熱焼結が、得られましたWO₃それぞれ厚膜ガスセンサー、H₂表面修飾を生成するために断熱空気雰囲気WO₃厚膜ガスセンサ。三酸化タングステンガスセンサ高感度検出、応答および回復時間のためのCOの環境1〜200ppmの短い後に表面改質処理のこの種を測定することができ、重要な実用的価値を有しています。

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1.タングステン粉末

2.青い酸化タングステン

3.黄色酸化タングステン

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