Химическое осаждение из паровой фазы
Для осаждения вольфрамовых слоев из паровой фазы, легко испаряющийся вольфрам соединение смешивают с газом-носителем и / или восстановительного газа и разлагают или уменьшается при более высокой температуре на подходящем. Возможные вольфрамовые соединения являются галогениды (предпочтительно WF6 и WCl6), Гексакарбонил вольфрама [W (CO) 6], и металлоорганические соединения. До сих пор только галогениды не являются технически важными. Обширные исследования в направлении металлоорганических были предприняты для того, чтобы преодолеть недостатки галогенидов: высокотемпературную необходимую для сокращения и трудности, вызванные коррозией.
Листы, полученные с помощью CVD (химического осаждения из паровой фазы), демонстрируют совершенно иную микроструктуру по сравнению с коваными P / M продуктов с точки зрения размера зерна и ориентации зерна. Оба эти параметра могут быть под влиянием условий осаждения. Очень мелкозернистый ХОП (химическое осаждение из паровой фазы), вольфрам может быть получен путем изменения условий роста в процессе осаждения, например, с помощью кисти, что увеличивает скорость нуклеации и приводит к нарушению столбчатых зерен. Способ также дает возможность депонировать слоев желаемой ориентации кристалла или даже отдельные слои кристалла.
(химическое осаждение из газовой фазы) ХОП вольфрама и вольфрамрениевых (совместное осаждение WF6 и ReF6) имеет коммерческое значение для производства рентгеновских мишеней. W-Re слоев до 1 мм наносят на графитовые диски диаметром от 100 до 150 мм. Кроме того, сердечно-сосудистых заболеваний могут быть использованы для производства цилиндрических или конических оболочек, конусы (например, фасонных лайнеры плату), тигли и тонкостенные трубы.
CVD низкого давления вольфрама проверяется на наличие с помощью вилки, низкого сопротивления контактных барьеров и соединительных элементов для высокой плотности кремниевых интегральных схем. В зависимости от субстрата и условий осаждения, либо & alpha; или & beta; вольфрама или смеси обоих, форм. Это представляет интерес, поскольку сопротивление ofβ-W примерно в 10 раз выше, чем у ofα-W.
Если у вас есть какие-либо интерес к порошок вольфрама, пожалуйста, не стесняйтесь связаться с нами по Эл. адрес:sales@chinatungsten.com или по телефону:+86 592 5129696
Больше информации>>