Fiziksel Buhar Birikimi (Püskürtme)
KVH durumunda artan sıcaklık ile birleştirilmiş güçlükler PVD ile ortadan kaldırılabilir (püskürtme). Bu işlemdeki substrat oldukça soğuk kalır.
Yüksek bir vakum hücresinde enerji ile bir iyon demeti (tercihen asal gaz) oluşturulur, substrat üzerinde biriken tungsten parçacıklarını serbest bırakır.
Püskürtme ekipmanının geliştirilmiş tasarımı, bir miktar CVD tungsteninin yer değiştirmesini sağlar. Mikroelektronik üretiminde ince tabakalar için kullanılan püskürtme uçları, yüksek veya ultra yüksek saflıkta W,% 10 Ti ve WSix'den yapılmıştır.
Herhangi bir ilginiz varsa Tungsten tozu, Lütfen E-posta ile bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin: sales@chinatungsten.com Veya telefonla:+86 592 5129696
Daha fazla bilgi>>