Kimyasal buhar birikimi
Tungsten tabakalarının buhar fazından çökeltilmesi için kolaylıkla buharlaşabilen bir tungsten bileşiği, bir taşıyıcı gaz ve / veya indirgeyici gaz ile karıştırılır ve uygun bir sıcaklıkta daha yüksek sıcaklıkta ayrıştırabilir veya indirgenir. Olası tungsten bileşikleri halojenürlerdir (tercihen WF6 ve WCl6), tungsten heksakarbonil [W (CO) 6] ve organometaliktir. Şimdiye kadar, sadece halojenürler teknik olarak önemlidir. Halojenürlerin dezavantajlarının üstesinden gelmek için organometalik yönünde kapsamlı araştırmalar yapılmıştır: indirgeme için gerekli olan yüksek sıcaklık ve korozyondan kaynaklanan güçlükler.
CVD (kimyasal buharla biriktirme) vasıtasıyla üretilen tabaka, tane boyutu ve tane yönü açısından dövülmüş P / M ürünleriyle karşılaştırıldığında oldukça farklı bir mikroyapı sergilemektedir. Her iki parametre, biriktirme koşullarından etkilenebilir. Çok ince taneli CVD (kimyasal buhar birikimi) tungsten, örneğin çekirdeklenme hızını arttıran ve kolumnar tane büyümesini bozan fırçalama yoluyla büyütme koşullarını depozisyon sırasında değiştirerek elde edilebilir. Bu yöntem aynı zamanda istenen kristal yönlendirme katmanlarını veya hatta tek kristal katmanları biriktirme imkanı sunar.
Tungsten ve tungsten-renyumun CVD (kimyasal buhar birikimi) (WF6 ve ReF6'nun birlikte çökeltilmesi), X-ışını hedeflerinin üretimi için ticari açıdan önemlidir. 1 mm'ye kadar W-Re katmanları çapları 100 ila 150 mm arasında olan grafit disklere yerleştirilir. Ayrıca, CVD, silindirik veya konik kabuklar, koniler (şekillendirilmiş şarj astarları gibi), potalar ve ince duvarlı tüpler üretmek için kullanılabilir.
Tungsten düşük basınçlı CVD, via plug, düşük dirençli kontak bariyerleri ve yüksek yoğunluklu silikon entegre devreler için ara bağlantılar için test edilmiştir. Yüzeye ve biriktirme koşullarına bağlı olarak, α-veya β-tungsten veya her ikisinin bir karışımı oluşur. Bu ilgi çekicidir, çünkü β-W'nin direnci α-W'nin direnci yaklaşık 10 kat daha fazladır.
Herhangi bir ilginiz varsa Tungsten tozu, Lütfen E-posta ile bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin: sales@chinatungsten.com Veya telefonla:+86 592 5129696
Daha fazla bilgi>>