tungsteno fluoruro
Tungsteno fluoro è composto inorganico di fluoro e di tungsteno con due forme comuni di tungsteno (IV) fluoro e tungsteno (VI) fluoruro, e le formule sono, rispettivamente, WF4 and WF6, le loro informazioni di base sono indicati come qui sotto:
tungsteno tetrafluoruro è un composto inorganico tungsteno, suscettibile di idrolisi e sensibili all'ossidazione e il disproporzionamento di esso a 800 ℃ sotto vuoto genererà tungsteno pentafluoruro e difluoruro di tungsteno.
Tungsteno (VI) fluoro, noto anche come esafluoruro di tungsteno, è il composto inorganico di tungsteno e di fluoro con la formula WF6. Questo corrosivo, composto incolore è un gas in condizioni standard, con una densità di circa 13 g / L (circa 11 volte più pesante dell'aria WF6 è uno dei gas più pesante noti in condizioni standard. WF6 gas è più comunemente utilizzato nella produzione di circuiti a semiconduttori e circuiti attraverso il processo di deposizione chimica di vapore - Durante la decomposizione, molecole di WF6 lasciare un residuo di tungsteno metallico. Questo strato funge da metallico a basso-resistive "interconnessione".
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