Kemikal singaw salaysay
Para sa mga salaysay ng Tungsten mga layer mula sa singaw phase, isang madaling evaporable Tungsten compound ay halo-halong sa isang carrier gas at / o pagbabawas ng gas at decomposed o nabawasan sa mas mataas na temperatura sa isang angkop. Mga posibleng Tungsten compounds ay halides (mas maganda WF6 at WCl6), Tungsten hexacarbonyl [W (CO) 6], at organometallics. Hanggang ngayon, tanging ang halides ay technically mahalaga. Malawak na pagsisiyasat sa direksyon ng organometallics Na-isasagawa upang pagtagumpayan ang disadvantages ng halides: ang mataas na temperatura kinakailangan para sa pagbabawas at ang paghihirap dulot ng kaagnasan.
Sheet, na ginawa sa pamamagitan ng CVD (kemikal singaw salaysay), magpakita ng isang bahagyang iba't ibang mga microstructure kumpara sa wrought mga produkto P / M sa mga tuntunin ng laki grain at grain na oryentasyon. Ang parehong mga parameter ay maaaring maapektuhan din ng mga kundisyon pagtitiwalag. Tunay na masarap na haspe CVD (kemikal singaw salaysay) Tungsten ay maaaring makuha sa pamamagitan ng pagbabago ang mga kondisyon ng paglago sa panahon ng pagtitiwalag, halimbawa, sa pamamagitan ng brushing, na pinapataas ang nucleation rate at umaantala ang katulad ng haligi paglago grain. Nag-aalok din pamamaraan Ang mga posibilidad na magdeposito ng mga layer ng ninanais na kristal na oryentasyon o kahit solong kristal layer.
CVD (kemikal singaw salaysay) ng Tungsten at Tungsten-reniyum (co-pagtitiwalag ng WF6 at ReF6) ay ng komersyal na kahalagahan para sa produksyon ng mga target ng X-ray. W-Muling layer ng hanggang sa 1mm ay idineposito sa grapayt mga disk na may diameters sa pagitan ng 100 at 150 mm. Higit pa rito, CVD ay maaaring gamitin upang makabuo ng cylindrical o korteng kono shell, cones (tulad ng mga hugis-liners bayad), crucibles, at manipis-napapaderan tubes.
Mababang-presyon CVD ng Tungsten ay sinubok para sa sa pamamagitan ng plugs, mababang-paglaban mga hadlang sa pakikipag-ugnay, at interconnects para sa mataas na density silikon integrated circuits. Depende sa substrate at ang mga kondisyon pagtitiwalag, alinman sa α-o β-Tungsten, o isang halo ng pareho, mga form. Ito ay ng interes, dahil ang resistivity ofβ-W ay tungkol sa 10 beses na mas mataas kaysa sa na ofα-W.
Kung mayroon kang anumang mga interes sa Tungsten pulbos, mangyaring huwag mag-atubiling makipag-ugnay sa amin sa pamamagitan ng email: sales@chinatungsten.com o sa pamamagitan ng telepono: +86 592 5129696
Higit pang impormasyon>>