Odkładanie się oparów chemicznych
W celu osadzania warstw wolframu z fazy gazowej, łatwo odparowywany związek wolframu miesza się z gazem nośnym i / lub redukuje gaz, rozkłada się lub redukuje w wyższej temperaturze na odpowiednim. Możliwymi związkami wolframu są halogenki (korzystnie WF6 i WCl6), wolframowy heksakarbonyl [W (CO) 6] i związki metaloorganiczne. Do tej pory tylko halogenki są technicznie ważne. Podjęto intensywne badania w kierunku metaloorganicznych elementów w celu przezwyciężenia wad halogenków: wysokiej temperatury niezbędnej do redukcji i trudności spowodowanych korozją.
Arkusze produkowane przez CVD (chemiczne osadzanie oparów) wykazują zupełnie inną mikrostrukturę w porównaniu z produktami P / M z kutego ziarna w zależności od wielkości ziarna i orientacji ziarna. Oba parametry mogą mieć wpływ na warunki osadzania. Bardzo dobrze ziarnowane CVD (chemiczne osadzanie oparów) wolframu można uzyskać zmieniając warunki wzrostu podczas osadzania, na przykład przez szczotkowanie, co zwiększa szybkość zarodkowania i zakłóca wzrost ziarna kolumny. Metoda oferuje również możliwość umieszczania warstw pożądanej orientacji krystalicznej lub nawet warstw pojedynczych kryształów.
CVD (chemiczne osadzanie oparów) wolframu i wolframu (współpłaszczanie WF6 i ReF6) ma znaczenie handlowe dla celów rentgenowskich. Warstwy W-Re o długości do 1 mm są osadzane na dyskach grafitowych o średnicy od 100 do 150 mm. Co więcej, CVD może być użyty do produkcji cylindrycznych lub stożkowych muszli, stożków (takich jak ukształtowane wkładki ładunkowe), tygli i cienkościennych rur.
Niskociśnieniowe CVD wolframu jest badane pod kątem wtyków, barier kontaktowych o niskiej odporności oraz połączeń wzajemnych dla układów scalonych silikonowych o dużej gęstości. W zależności od podłoża i warunków osadzania α-lub β-wolframu, albo mieszaniny obu form. Jest to interesujące, ponieważ oporność β-W jest około 10 razy większa niż w przypadku α-W.
Jeśli masz jakieś zainteresowanie proszkiem wolframu, skontaktuj się z nami pocztą elektroniczną: sales@chinatungsten.comLub telefonicznie: +86 592 5129696
Więcej informacji>>
sales@chinatungsten.com;