Хімічне осадження з парової фази
Для осадження вольфраму шарів з парової фази, легко випаровується вольфрам з'єднання змішують з газом-носієм і / або відновного газу і розкладають або зменшується при більш високій температурі на відповідному. Можливі вольфрамові сполуки є нітрати (переважно WF6 і WCl6), Гексакарбоніл вольфраму [W (CO) 6], і металоорганічні сполуки. До сих пір тільки нітрати не є технічно важливими. Широкі дослідження в напрямку металоорганічних були зроблені для того, щоб подолати недоліки галогенідів: високотемпературну необхідну для скорочення і труднощі, викликані корозією.
Листи, отримані за допомогою CVD (Хімічне осадженим з парової фази), демонструють зовсім іншу мікроструктуру в порівнянні з кованими P / M продуктів з точки зору розміру зерна і орієнтації зерна. Жоден із цих параметрів можуть бути під впливом умов осадження. Дуже дрібнозернистий CVD (Хімічне осадженим з парової фази) вольфраму можуть бути отримані шляхом зміни умов зростання в процесі осадження, наприклад, за допомогою кисті, що збільшує швидкість нуклеації і руйнує стовпчастий зростання зерна. Спосіб також дає можливість депонувати шарів бажаної орієнтації кристала або навіть окремі верстви кристала.
Серцево-судинних захворювань (Хімічне осадженим з парової фази) вольфраму і вольфраму-ренію (спільне осадження WF6 і ReF6) має комерційне значення для виробництва рентгенівських мішеней. W-Re шарів до 1 мм наносять на графітові диски діаметром від 100 до 150 мм. Крім того, серцево-судинних захворювань можуть бути використані для виробництва циліндричних або конічних оболонок, конуси (наприклад, фасонних лайнери плату), тиглі і тонкостінні труби.
CVD низького тиску вольфраму перевіряється на наявність за допомогою вилки, з низьким опором контактних бар'єрів і сполучних елементів для високої щільності кремнієвих інтегральних схем. Залежно від субстрату і умов осадження, або & alpha; або & beta; вольфраму або суміші обох, форм. Це становить інтерес, оскільки опір ofβ-W приблизно в 10 разів вище, ніж у ofα-W.
Якщо у вас є які-небудь інтерес до порошку вольфраму, будь ласка, не соромтеся Зв'яжіться з нами по електронній пошті:sales@chinatungsten.com або по телефону:+86 592 5129696
Детальніше >>