氧化钨气敏传感器

氧化钨气敏传感器

气敏传感器的种类很多，由于气体与材料相互之间的作用形式多种多样，它们所反映出来的物理、化学和生物效应或现象也就各不相同，所以分类方法也很多，有按气体种类分类的（氧敏器件、酒敏器件、氨敏器件等），有按基体材料种类分类的（金属氧化物型、有机高分子半导体型、固体电解质型等），有按工作方式分类的（干式、湿式等），有按结构形式分类的（烧结型、薄膜型、厚膜型等），有按工作机理分类的（电阻型、电容型、二极管特性型、晶体管特性型频率型、电化学型等）。

WO₃是一种N型金属氧化物半导体材料，在与被测气体接触时，其电阻发生变化，从而使输出信号产生相应改变而达到检测气体的目的。WO₃对H₂S、SOx和NOx等气体具有较好的敏感特性和选择性，因而有很好的发展前景。WO₃薄膜的沉积技术以及相应的沉积参数对薄膜气敏传感器的气敏特性有很大的影响。由于制膜技术和成膜条件的不同，薄膜材料中缺陷的密度也会有所不同，另一方面材料在热处理时，粒度也发生变化，这些对三氧化钨的电学性质和气敏响应都有很大影响。