氧化鎢氣敏感測器

氧化鎢氣敏感測器

氣敏感測器的種類很多，由於氣體與材料相互之間的作用形式多種多樣，它們所反映出來的物理、化學和生物效應或現象也就各不相同，所以分類方法也很多，有按氣體種類分類的（氧敏器件、酒敏器件、氨敏器件等），有按基體材料種類分類的（金屬氧化物型、有機高分子半導體型、固體電解質型等），有按工作方式分類的（幹式、濕式等），有按結構形式分類的（燒結型、薄膜型、厚膜型等），有按工作機理分類的（電阻型、電容型、二極體特性型、電晶體特性型頻率型、電化學型等）。

WO₃是一種N型金屬氧化物半導體材料，在與被測氣體接觸時，其電阻發生變化，從而使輸出信號產生相應改變而達到檢測氣體的目的。WO₃對H₂S、SOx和NOx等氣體具有較好的敏感特性和選擇性，因而有很好的發展前景。WO₃薄膜的沉積技術以及相應的沉積參數對薄膜氣敏感測器的氣敏特性有很大的影響。由於制膜技術和成膜條件的不同，薄膜材料中缺陷的密度也會有所不同，另一方面材料在熱處理時，粒度也發生變化，這些對三氧化鎢的電學性質和氣敏回應都有很大影響。