酸化タングステンガスセンサ
酸化タングステンガスセンサ
ガスの形や材質の相互多様にガスセンサーの多くの種類が、彼らは物理的、化学的および生物学的効果または現象に反映されている異なりますので、分類方法の多くは、ありますガス（酸素に敏感な装置、アルコール検知装置、アンモニアに敏感な装置など）の種類に応じて分類し、マトリックス材料（金属酸化物、有機ポリマー半導体型、固体電解質型など）に応じた分類のタイプがあり、カテゴリーの作品があります（乾式、湿式、など）、そこは、構造（等焼結、薄膜、厚膜型）に応じて分類され、分類（抵抗、容量、タイプのダイオード特性の作用機構によれば、トランジスタ特性の周波数のタイプであります電気化学型、等）。
WO3出力信号は、ガスを検出するための変化に対応するように、測定対象ガスと接触するN型金属酸化物半導体材料は、その抵抗が変化します。 WO H<サブ>から<サブ>3 2 S、SOx、NOx量と他のガスは、開発のための非常に良い見通しを持って良好な選択性と感度特性を持っています。 WO3成膜技術と対応する堆積パラメータは、フィルムガスセンサのガス検知特性に大きな影響を与えます。熱処理時一方、物質をフィルム材料の技術における欠陥の密度に応じて、成膜条件が変化し、粒径も変化する、これらの三酸化タングステンの電気的特性およびガス感応応答が非常に有しますインパクト大。