Capteur de gaz d'oxyde de tungstène

Tungsten Oxyde capteur de gaz

Il existe de nombreux types de capteurs de gaz, en raison de la variété des formes d'interaction entre le gaz et le matériel, physique, chimique réfléchie et des effets biologiques ou des phénomènes sera varier, donc va apporter beaucoup de méthodes de classification. Certains sont en fonction du type de gaz (dispositifs sensibles à l'oxygène, de l'alcool de détection et d'ammoniac sensible, etc.); Certains sont en fonction du matériau de matrice (oxyde métallique, un semi-conducteur organique polymère solide et le type d'électrolyte, etc.); certains sont en fonction de moyens de travail (sec et humide méthode, etc.); certains sont en fonction du type de structure (fritté, à film mince et le type de film épais, etc.); et les autres sont, selon le mécanisme de travail (résistif, capacitif, des caractéristiques de type diodes, transistors caractéristiques de fréquence et le type électrochimique, etc.).

WO ₃ est un matériau oxyde métallique semi-conducteur de type N, sa résistance a changé lorsque les contacts avec le gaz à mesurer, ainsi réalisé le but de détecter du gaz en modifiant le signal de sortie. WO ₃ a de bonnes performances de sélectivité et de sensibilité pour H2S, SOx, NOx et d'autres gaz, ce qui en fait une très bonne perspective. Les techniques de dépôt de couches minces et les paramètres de dépôt correspondants de WO ₃ ont de grandes répercussions sur les propriétés de détection de gaz du capteur de gaz de film. La densité de défauts dans le film mince sera variable selon les différentes technologies de production et des conditions de formation; d'autre part, la taille des particules varie également au cours du traitement thermique. Tous les aspects ci-dessus ont un grand impact sur les propriétés électriques de tungstène trioxyde et la réponse sensible au gaz.