Wolframoxid-Gas-Sensor

Wolframoxid-Gas-Sensor

Es gibt viele Arten von Gassensoren aufgrund der Vielzahl von Interaktionsformen zwischen dem Gas und Material, das reflektierte physikalischen, chemischen und biologischen Wirkungen oder Phänomene sein wird variieren, wird somit eine Menge Klassifikationsverfahren bringen. Einige sind entsprechend der Art des Gases (Sauerstoff-sensitive, Alkohol Erfassungs- und Ammoniak empfindlichen Vorrichtungen etc.); einige sind nach dem Matrix-Material (Metalloxid, organisches Polymer, Halbleiter- und Feststoffelektrolyttyp etc.); einige werden nach Arbeitswege (Trocken- und Nassverfahren usw.); einige sind entsprechend dem Strukturtyp (gesintert, Dünnschicht- und Dickschicht-Typ etc.); und einige sind nach dem Arbeitsmechanismus (resistiv, kapazitiv, Typ Diodeneigenschaften, Transistoreigenschaften Frequenz und elektrochemischen Typ etc.).

WO3 ist ein Halbleiter-Metalloxid N-Typ-Material, änderte ihren Widerstand beim Kontakt mit dem zu messenden Gas, so realisiert, um das Ziel des Erfassens Gas durch das Ausgangssignal ändert. WO3 hat eine gute Leistung von Selektivität und Empfindlichkeit für H2S, SOx, NOx und anderen Gasen, die es eine sehr gute Aussicht macht. Die Dünnfilmabscheidungsverfahren und die entsprechenden Abscheidungsparameter von WO3 haben große Auswirkungen auf die Gassensoreigenschaften des Films Gassensors. Die Dichte von Defekten in der Dünnfilm wird variierende werden je nach den unterschiedlichen Herstellungstechnik und Bildungsbedingungen; auf der anderen Seite ändert sich die Partikelgröße auch während der Wärmebehandlung. Alle oben genannten Aspekte haben einen großen Einfluss auf die Wolframtrioxid elektrischen Eigenschaften und gassensitiven Reaktion.